可測量高純度Ar、H2、He、N2 中的氧氣含量 測量原理:電化學 測量範圍: 0-100 ppb, 0-1, 0-10, 0-100 ppm 具有溫度及壓力補償功能 精確度: ±3% of reading 或 ±0.5 ppb 響應時間: T90 < 15 s